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半導体製造装置向け 真空でも使用可能+高精度
Temposonics アブソリュートリニア変位センサは、劣悪な環境下でも高速応答性能、正確性、耐久性を兼ね備えています。世界の多くのメーカーが、消費電力、CO2削減、コスト低減の為、機械を効率良く動作させ、サイクルタイムを短く、また、ダウンタイムをゼロにする必要があります。そのため、Temposonicsが提案する、高性能で振動、衝撃に強く、水、埃、油による精度への影響がない、メンテナンスフリーの高信頼性リニア変位センサを採用しています。 【半導体、液晶、有機EL等の真空チャンバー内の搬送装置に】 センシングロッド部（最大20m）を真空中に設置し、ワーク側には、マグネットを取り付け、正確な位置（分解能1μm）を複数個所（最大30箇所）で同時計測。真空専用の特殊なケーブル、読み取り機等高価な部品を使用する必要なく、また、取り付け精度を必要としない為、価格のみならず、工数も含めた大幅なコスト削減が可能です。
多様なラインナップから、用途によってお選びいただけます
Temposonicsセンサは、磁歪技術を用いた、衝撃、振動、温度等の過酷な環境に対し、耐久性の高い非接触アブソリュートリニアスケールです。高精度（0.5μm)+堅牢（耐衝撃100G、耐振動30G、防水性能IP68/69K、ロッド耐圧80MPa、CE適合）で、多彩なインターフェース（アナログ、SSI、CANbus、Profibus、EtherCAT、EtherNet/IPなど）を用意しています。防水対応、多位置同時計測、防爆対応など、幅広い用途にお使いいただけます。
Temposonicsなら目的に応じたセンサーを提案できます
Temposonicsセンサは、磁歪技術を用いた、衝撃や振動、温度等の過酷な環境に対し堅牢なアブソリュートリニアスケールです。非接触計測で摩耗がなく、ロッドタイプのセンサは、小型で、油圧シリンダ、空圧シリンダ内にも収まります。また、Level Plusは、磁歪技術による高精度、高信頼性を誇る液面変位センサで、一本の液面計で複数の液面、境界面の計測だけでなく、温度計測、マイコンによるタンク容量の自動計算、エラー診断等、多くの機能を搭載しています。どちらも用途は幅広く、Temposonicsでは、お客様の目的に応じたセンサをご提案します。
